SJ/T 11508-2015 集(jí)成(chéng)電(diàn)路(lù)用正膠(jiāo)顯(xiǎn)影(yǐng)液

範(fàn)圍(wéi)
本標(biāo)準(zhǔn)規定了集成(chéng)電路(lù)用正膠顯(xiǎn)影液的術語，性狀，技術(shù)要求(qiú)，試驗方法，檢驗規(guī)則(zé)和包裝(zhuāng)，標(biāo)誌，儲(chǔ)存，運輸。
本標準(zhǔn)適(shì)用(yòng)於(yú)集(jí)成電路用(yòng)正膠(jiāo)顯(xiǎn)影液，以下(xià)簡稱正膠顯影液(yè)。
本(běn)標準(zhǔn)不(bù)涉及使用安全性(xìng)問題。本標(biāo)準的使(shǐ)用人應負責建(jiàn)立適當的(dí)安(ān)全健(jiàn)康條(tiáo)款及(jí)使用(yòng)範(fàn)圍(wéi)的(dí)限製。

術(shù)語(yǔ)
超純(chún)硝酸(suān)  ultrapure nitric acid
金屬(shǔ)離子(zǐ)含量(liáng)不(bù)大於1μg/L的(dí)硝酸。

性(xìng)狀和(hé)技(jì)術要求
性狀
本(běn)試劑為無(wú)色(sè)透明有(yǒu)剌(là)激性(xìng)氨昧的(dí)鹼性液體(tǐ)，為四(sì)甲基(jī)氫氧(yǎng)化銨(ǎn)的(dí)水溶液(yè)，四甲基氫(qīng)氧化銨(ǎn)含(hán)量允(yǔn)許相對偏差(chà)為±1.0%。

技術(shù)要(yào)求
正膠顯(xiǎn)影液技術要(yào)求應符(fú)合(hé)表(biǎo)1的(dí)規定:






試驗(yàn)方法(fǎ)
顯影(yǐng)液(yè)含量(liáng)測(cè)定
試(shì)劑(jì)
鹽酸標(biāo)準滴定(dìng)溶液: c(HCl)=0.1mol/L。
儀器和(hé)設備(bèi)
自動電位滴(dī)定(dìng)儀: 配酸(suān)鹼滴(dī)定電極。
測定步驟
稱(chēng)取(qǔ)適(shì)量樣品於(yú)滴(dī)定(dìng)杯中，至0.0001g，加入40mL純水，按(àn)照自(zì)動電(diàn)位滴(dī)定儀(yí)操(cāo)作(zuò)規(guī)程測(cè)定顯影(yǐng)液含(hán)量(liáng)。
兩(liǎng)次(cì)平行測定結果相對偏差不大(dà)於0.5%，取(qǔ)其算術平均值(zhí)為測定(dìng)結果。


京(jīng)都電(diàn)子(zǐ)KEM 自(zì)動電位滴(dī)定儀 AT-710S