SJ/T 11507-2015 集成(chéng)電路(lù)用氧化層(céng)緩衝腐蝕液

範圍
本標(biāo)準規(guī)定了集(jí)成(chéng)電(diàn)路(lù)用(yòng)氧(yǎng)化層緩衝腐(fǔ)蝕液(yè)的術語，性(xìng)狀，技(jì)術要(yào)求，試驗(yàn)方法，檢驗(yàn)規則(zé)和包(bāo)裝，標誌(zhì)，儲存，運輸等。
本(běn)標準適用於集成電(diàn)路用氧(yǎng)化層(céng)緩衝(chōng)腐(fǔ)蝕液(yè)。
本標(biāo)準不(bù)涉及使(shǐ)用安(ān)全(quán)性問題(tí)。本(běn)標準(zhǔn)的(dí)使(shǐ)用人應負責建(jiàn)立(lì)適當(dāng)的(dí)安(ān)全(quán)健康(kāng)條(tiáo)款(kuǎn)及使用範圍的限製。

術語(yǔ)和定義(yì)
超(chāo)純硝酸(suān) ultrapure nitric acid
金屬離子含量不(bù)大於1μg/L的硝(xiāo)酸。

性狀和技術(shù)要求
性(xìng)狀(zhuàng)
本腐蝕(shí)液為無色透明液(yè)體(tǐ)，呈(chéng)酸(suān)性，是(shì)氟化銨與氫(qīng)氟(fú)酸(suān)按一定(dìng)比例混合的(dí)緩衝溶液(yè)，氟化銨(ǎn)含(hán)量允許偏差為±0.4%，氫氟酸含(hán)量(liáng)允許偏差為±0.25%。
技(jì)術(shù)要求
氧化層緩衝腐蝕(shí)液(yè)的(dí)技術(shù)要求(qiú)應符(fú)合(hé)表(biǎo)1的(dí)規(guī)定:






試(shì)驗方法(fǎ)
氟(fú)化(huà)銨(ǎn)和氫氟(fú)酸(suān)含量的(dí)測(cè)定(dìng)
試驗(yàn)儀(yí)器(qì)
自動電位滴(dī)定(dìng)儀: 配置氟(fú)離子(zǐ)選擇(zé)性電極(jí)和(hé)參比(bǐ)電極。

試劑(jì):
甲(jiǎ)醛(quán): 40%。
中性(xìng)甲(jiǎ)醛溶(róng)液: 量取20mL甲醛(quán)溶(róng)液，加20mL水(shuǐ)，加2滴(dī)酚(fēn)酞(tài)指(zhǐ)示劑，用*標準(zhǔn)滴定溶液滴定(dìng)至溶液呈(chéng)粉紅色(sè)。使用(yòng)前(qián)製(zhì)備。
*溶(róng)液(yè): 0.1mol/L。
*標準(zhǔn)滴(dī)定溶液: c(NaOH)=1mol/L。
酚(fēn)酞指示(shì)劑: 10g/L。

滴(dī)定法(仲裁(cái)方法(fǎ))
氫(qīng)氟(fú)酸(suān)(HF)含量(liáng)測定
稱取(qǔ)適(shì)量(精確(què)至0.0001g)樣品(pǐn)於(yú)已注入(rù)10mL純水(shuǐ)的帶蓋的塑料燒(shāo)杯(bēi)中，加(jiā)50mL純水及2滴(dī)酚酞(tài)指示劑，用(yòng)*標準(zhǔn)滴定(dìng)溶(róng)液(yè)滴(dī)定(dìng)至溶液微(wēi)粉(fěn)紅色，保(bǎo)持30s不褪色。隨(suí)樣(yàng)做(zuò)空(kōng)白試(shì)驗。
HF含量以(yǐ)質量分(fēn)數a計(jì)，數值以(yǐ)百分(fēn)含(hán)量(%)表(biǎo)示，按式(shì)(1)計(jì)算:

式(shì)中:
V₁ 一(yī)一樣(yàng)品(pǐn)消(xiāo)耗*標(biāo)準滴(dī)定溶(róng)液的體(tǐ)積的(dí)數值，單(dān)位為毫升(mL)；
V₀₁一一(yī)空(kōng)白消耗(hào)*標準(zhǔn)滴定溶(róng)液(yè)的體積的數(shù)值，單位(wèi)為毫升(shēng)(mL)；
c   一一*標準滴定(dìng)溶(róng)液(yè)濃度的(dí)準(zhǔn)確數(shù)值，單(dān)位(wèi)為摩(mó)爾(ěr)每升(mol/L)；
0.02001一一(yī)與(yǔ)1mL*標(biāo)準滴(dī)定溶液(yè)相當的(dí)以克(kè)表(biǎo)示的(dí)氫(qīng)氟酸(suān)的(dí)質量，單位(wèi)為(wéi)克每毫升(g/mL)；
m₁ 一(yī)一(yī)試(shì)樣質量的(dí)數值，單位為(wéi)克(kè)(g)。
兩次(cì)平行測定結果之(zhī)差(chà)不大於0.1%，取其算(suàn)術(shù)平(píng)均值為測定(dìng)結果。
氟化(huà)銨(ǎn)(NH₄F)含(hán)量(liáng)測(cè)定(dìng)
稱取適量(liáng)(精確至0.0001g)樣(yàng)品於(yú)已注(zhù)入10mL純水的(dí)帶(dài)蓋的塑(sù)料(liào)杯中，加(jiā)40mL中性(xìng)甲(jiǎ)醛溶(róng)液(yè)，搖(yáo)匀(yún)，靜置30min，用(yòng)*標(biāo)準(zhǔn)滴(dī)定(dìng)溶液滴定至(zhì)粉紅色，保持(chí)30s不褪色。隨樣(yàng)做空白(bái)試(shì)驗。
NH₄F含量(liáng)以質量分數b計，數值以百分含量(%)表(biǎo)示，按(àn)式(2)計(jì)算:

式中:
a   一一(yī)氫氟酸質量分(fēn)散(sàn)，百分(fēn)含量(liáng)(%)；
V₂ 一(yī)一(yī)樣(yàng)品消耗*標準滴(dī)定(dìng)溶液(yè)的體(tǐ)積的數(shù)值，單(dān)位(wèi)為(wéi)毫升(shēng)(mL)；
V₀₂一一(yī)空(kōng)白(bái)消(xiāo)耗(hào)*標準(zhǔn)滴定(dìng)溶液的(dí)體積的數(shù)值，單位(wèi)為毫升(shēng)(mL)；
c    一一(yī)*標(biāo)準滴定溶液(yè)濃度的(dí)準(zhǔn)確數值(zhí)，單位(wèi)為摩(mó)爾(ěr)每(měi)升(shēng)(mol/L)；
0.02001一一與1mL*標準(zhǔn)滴定(dìng)溶液(yè)相(xiāng)當的(dí)以(yǐ)克表示(shì)的氫氟(fú)酸的質量(liáng)，單(dān)位(wèi)為克每毫升(g/mL)；
m₂   一(yī)一(yī)試樣(yàng)質(zhì)量的(dí)數(shù)值(zhí)，單位為(wéi)克(kè)(g)；
1.85一一(yī)換(huàn)算係數，無(wú)單位。
兩(liǎng)次平(píng)行(háng)測定(dìng)結果(guǒ)之(zhī)差不大(dà)於0.1%，取其算術(shù)平均值(zhí)為測(cè)定結果。

自動電(diàn)位滴(dī)定(dìng)法
操作(zuò)步(bù)驟(zhòu)
稱(chēng)取(qǔ)適(shì)量(liáng)樣(yàng)品於(yú)滴定(dìng)杯中，精確(què)至(zhì)0.0001g，加入(rù)40mL純(chún)水(shuǐ)，按照(zhào)自(zì)動(dòng)電位(wèi)滴定(dìng)儀操作規程(chéng)測(cè)定(dìng)氫氟(fú)酸和(hé)氟(fú)化銨(ǎn)含量(liáng)。
兩(liǎng)次平行測(cè)定(dìng)結果相對(duì)偏(piān)差(chà)不(bù)大(dà)於(yú)0.5%，取其(qí)算(suàn)術平均值為測(cè)定結果(guǒ)。