T/CEMIA 030-2022 半(bàn)導體用(yòng)正(zhèng)膠顯影液(yè)

範(fàn)圍
本標準規定了半導(dǎo)體用正膠(jiāo)顯(xiǎn)影(yǐng)液(yè)的(dí)術語(yǔ)和定義(yì)
，縮略(lüè)語
，分類
，要(yào)求(qiú)
，檢驗方法(fǎ)
，檢驗規(guī)則以及標誌(zhì)
，包(bāo)裝
，運(yùn)輸(shū)
，貯(zhù)存和(hé)安(ān)全(quán)。
本標準(zhǔn)適用於半(bàn)導(dǎo)體(tǐ)用正膠顯(xiǎn)影液，其(qí)主要組分(fēn)為通過(guò)季銨鹽化合物(wù)電解(jiě)製得(dé)的四甲(jiǎ)基(jī)氫(qīng)氧(yǎng)化(huà)銨。

術(shù)語(yǔ)和(hé)定(dìng)義
本文件沒有需要界定的術(shù)語和定(dìng)義。

縮(suō)略語
下(xià)列(liè)縮略語(yǔ)適用於本(běn)文(wén)件(jiàn)。
PFA：四氟乙烯(xī)—全(quán)氟烷氧(yǎng)基乙烯(xī)基醚共(gòng)聚物，又(yòu)稱(chēng)過(guò)氟烷基化物，可溶性(xìng)聚四氟(fú)乙烯(xī)。

分類
按(àn)照四甲基氫(qīng)氧化銨的含量進行(háng)分類，可分(fēn)為c-a(四(sì)甲基氫(qīng)氧化(huà)銨含量≥20.00%的(dí)半導(dǎo)體用(yòng)正(zhèng)膠(jiāo)顯影(yǐng)液(yè))，c-b(四甲(jiǎ)基氫氧(yǎng)化(huà)銨含量≤5%的半導(dǎo)體用正膠顯影液)。

要求(qiú)
外(wài)觀
無(wú)色(sè)透明(míng)液(yè)體。
主要化(huà)學(xué)成(chéng)分
半導(dǎo)體用正膠顯(xiǎn)影液(yè)的主要(yào)化(huà)學成分(fēn)應符合(hé)表1的(dí)規定。


色度
半(bàn)導體用正膠(jiāo)顯(xiǎn)影(yǐng)液(yè)的色度應(yīng)不(bù)大於(yú)5Hazen單(dān)位(wèi)(Pt-Co色(sè)號(hào))。
顆粒數
半導體(tǐ)用正膠(jiāo)顯(xiǎn)影液(yè)的(dí)顆粒數應符合表2的規定。


甲醇
半導(dǎo)體(tǐ)用(yòng)正膠(jiāo)顯(xiǎn)影液(yè)的(dí)甲醇含(hán)量應(yīng)符(fú)合表3的(dí)規定。


陰(yīn)離子雜質含(hán)量
半(bàn)導體(tǐ)用正(zhèng)膠顯(xiǎn)影(yǐng)液的陰離子雜質(zhì)含(hán)量(liáng)應符合(hé)表(biǎo)4的規(guī)定(dìng)。


金屬雜質(zhì)含(hán)量
半(bàn)導體用(yòng)正膠(jiāo)顯(xiǎn)影液的金(jīn)屬雜(zá)質(zhì)含(hán)量(liáng)應(yīng)符合表(biǎo)5的規(guī)定。




表(biǎo)麵張力
c-b的表(biǎo)麵張(zhāng)力指標(biāo)管控可由供應商與客(kè)戶協(xié)商(shāng)決定。

檢驗方法
四(sì)甲基氫氧化(huà)銨含(hán)量(liáng)
按 SJ/T 11636 的規(guī)定進行。
SJ/T 11636-2016 電子工業(yè)用(yòng)顯影(yǐng)液中四甲(jiǎ)基(jī)氫氧化銨的測(cè)定(dìng) 自動電位滴(dī)定(dìng)法(fǎ)

碳酸根離子
按 SJ/T 11635 的規(guī)定進行(háng)。
SJ/T 11635-2016 電子工業(yè)用顯(xiǎn)影液中碳酸(suān)根離(lí)子(zǐ)的(dí)測(cè)定(dìng) 自動(dòng)電位(wèi)滴(dī)定法(fǎ)