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T/FJAS 001-2024 濕電子化學(xué)品 再生(shēng)丙(bǐng)二醇甲醚(mí)醋(cù)酸(suān)酯
範圍(wéi)
本(běn)文(wén)件規定了再(zài)生(shēng)丙二醇甲(jiǎ)醚醋酸(suān)酯的技(jì)術(shù)要求(qiú),試驗方(fāng)法,檢(jiǎn)驗規(guī)則及(jí)標誌(zhì),包裝,運(yùn)輸和(hé)貯存。
本(běn)文件適(shì)用(yòng)於(yú)以濕(shī)電子化學(xué)品(pǐn)行(háng)業含丙(bǐng)二(èr)醇(chún)甲醚(mí)醋酸酯回收(shōu)液為原料,經過提純的(dí)丙(bǐng)二醇(chún)甲醚醋(cù)酸酯再(zài)生(shēng)產(chǎn)品(以下(xià)簡稱產(chǎn)品),主(zhǔ)要用於顯示麵(miàn)板製造行(háng)業等。
術語和定(dìng)義
下列(liè)術(shù)語和定(dìng)義(yì)適(shì)用於(yú)本文(wén)件(jiàn)。
濕電子(zǐ)化學品(pǐn) wet chemicals
濕電(diàn)子化學品(pǐn)又(yòu)稱(chēng)超(chāo)淨高(gāo)純(chún)電子(zǐ)化學品(pǐn),是(shì)微電子,光(guāng)電子(zǐ)濕法工藝(主要包括濕(shī)法(fǎ)刻(kè)蝕(shí),清洗(xǐ),顯影,剝離等環(huán)節)中(zhōng)使(shǐ)用(yòng)的各(gè)種(zhǒng)液體化(huà)工材料。
丙(bǐng)二醇甲(jiǎ)醚醋(cù)酸酯 1-methoxy-2-propyl acetate
丙(bǐng)二(èr)醇甲(jiǎ)醚醋酸(suān)酯(PGMEA),分子(zǐ)式(shì)為C6H12O3。在液晶(jīng)顯示器製造行業(yè),用(yòng)於(yú)ARRAY和(hé)CF工段清(qīng)洗稀(xī)釋(shì)等。
回(huí)收液 Iiquid recycIing
主要含有PGMEA(丙二醇甲(jiǎ)醚醋酸酯),酮類(lèi)化(huà)合(hé)物(wù),苯(běn)類(lèi)化(huà)合物,乙(yǐ)氧基酯(zhǐ)類化(huà)合物,甲氧基酯類(lèi)化(huà)合(hé)物等(děng)雜質。
技(jì)術(shù)要(yào)求
產品(pǐn)的技術指(zhǐ)標應符合(hé)表(biǎo)1的(dí)要(yào)求(qiú)。
試驗方法
水分(fēn)的測(cè)定
按(àn) GB/T 6283 的規(guī)定(dìng)進(jìn)行測定(dìng)。
GB/T 6283-2008 化(huà)工(gōng)產(chǎn)品中水(shuǐ)分含量(liáng)的測(cè)定(dìng) 卡爾·費(fèi)休法(fǎ)(通用(yòng)方(fāng)法(fǎ))