T/FJAS 006-2024 濕(shī)電(diàn)子化學品 再(zài)生(shēng)光阻(zǔ)剝離(lí)液

範圍
本文件規定了再生光(guāng)阻剝離(lí)液(yè)的技術(shù)要(yào)求，試(shì)驗方法，檢驗(yàn)規(guī)則及標誌，包裝，運輸(shū)和(hé)貯存(cún)。
本文件(jiàn)適(shì)用於以濕電子化(huà)學品(pǐn)行業(yè)含光阻剝離液回收液(yè)為原料，經(jīng)過提(tí)純的光阻剝(bāo)離液再生產(chǎn)品(以(yǐ)下(xià)簡稱產品(pǐn))，主要用於顯示麵板(bǎn)製造(zào)行業等(děng)。

術(shù)語和(hé)定(dìng)義
下列術(shù)語和(hé)定義(yì)適(shì)用於本文件(jiàn)。
濕電子化學(xué)品(pǐn)  wet chemicals
濕(shī)電子(zǐ)化(huà)學(xué)品(pǐn)又(yòu)稱超(chāo)淨高純電子化學品，是微電子(zǐ)，光電子濕(shī)法工藝(yì)(主(zhǔ)要(yào)包括(kuò)濕(shī)法(fǎ)刻(kè)蝕(shí)，清洗，顯影，剝(bāo)離(lí)等環節(jié))中使用(yòng)的各種(zhǒng)液體化(huà)工(gōng)材料(liào)。
光阻(zǔ)剝(bāo)離(lí)液
一種有(yǒu)機混合物，主要(yào)用於(yú)麵板製(zhì)造行業的(dí)光阻(zǔ)剝離(lí)，主(zhǔ)要成分為(wéi)乙(yǐ)醇胺(àn)(MEA)和二甲(jiǎ)基(jī)亞(yà)碸(fēng)(DMSO)。
回(huí)收液  Iiquid recycIing
主要成分乙醇(chún)胺(MEA)，二甲(jiǎ)基(jī)亞(yà)碸(DMSO)，廢(fèi)光(guāng)刻膠(jiāo)，水分，金(jīn)屬雜(zá)質(zhì)等(děng)。

技術要(yào)求
產(chǎn)品的質(zhì)量技術指(zhǐ)標應符合(hé)表1的要(yào)求(qiú)。


試(shì)驗(yàn)方(fāng)法(fǎ)
水分的測(cè)定
按(àn) GB/T 6283 的規(guī)定(dìng)進行(háng)測定。
GB/T 6283-2008 化工產品中水(shuǐ)分(fēn)含量(liáng)的測(cè)定(dìng) 卡爾·費(fèi)休法(通用方法(fǎ))