GB/T 28159-2025 電(diàn)子級磷酸(suān)

範(fàn)圍
本(běn)文件規定了電子(zǐ)級磷(lín)酸的(dí)要求(qiú)，檢(jiǎn)驗(yàn)規則(zé)以及(jí)標誌，包(bāo)裝(zhuāng)，運輸(shū)，貯存，安全等(děng)，並描(miáo)述(shù)了(liǎo)相應的(dí)試(shì)驗方(fāng)法。
本文(wén)件(jiàn)適用(yòng)於半導(dǎo)體集(jí)成電路，芯(xīn)片，顯示(shì)麵板等(děng)行(háng)業用(yòng)的電子級磷酸(suān)。

術語(yǔ)和定義
本(běn)文(wén)件(jiàn)沒有(yǒu)需(xū)要界定(dìng)的(dí)術(shù)語(yǔ)和定(dìng)義。

要求
外觀
電(diàn)子(zǐ)級磷(lín)酸(suān)應為無(wú)色透(tòu)明(míng)液體。
規(guī)格
電子級(jí)磷酸分為(wéi)E1級，E2級，E3級(jí)共3個等(děng)級，其(qí)中E1級主(zhǔ)要(yào)用(yòng)於(yú)顯(xiǎn)示麵板行業(yè)，E2級(jí)主要用於8寸集(jí)成(chéng)電(diàn)路行(háng)業，E3級(jí)主要用(yòng)於(yú)12寸集成(chéng)電路(lù)行業。
技術要求(qiú)
電子級(jí)磷酸(suān)的技(jì)術(shù)要求(qiú)應符合(hé)表1的(dí)規(guī)定(dìng)。




試驗方(fāng)法
磷(lín)酸(suān)質量分(fēn)數(shù)的(dí)測定
重(zhòng)量(liáng)法(仲裁(cái)法(fǎ))
按(àn) GB 1886.15-2015 中A.4.1規定(dìng)的方法(fǎ)進行。

容(róng)量(liáng)法
原(yuán)理
以百(bǎi)裏香(xiāng)酚酞為指(zhǐ)示(shì)液，用(yòng)*標準滴(dī)定溶(róng)液(yè)滴定磷(lín)酸，以確定磷酸含量。
試劑(jì)
NaOH標(biāo)準滴定溶液(yè)：c(NaOH)=0.5mol/L。
百(bǎi)裏(lǐ)香酚酞(tài)指示(shì)液(yè)：1g/L。
分析(xī)步(bù)驟
稱取約1g試(shì)樣，精確(què)至(zhì)0.0002g。置(zhì)於250mL錐(zhuī)形瓶中(zhōng)，加80mL水(shuǐ)和(hé)5滴(dī)百(bǎi)裏香(xiāng)酚(fēn)酞指示液(yè)，用NaOH標準滴定溶液(yè)滴定至溶液(yè)變為淺(qiǎn)藍色即(jí)為終點。
試(shì)驗(yàn)數據的(dí)處理(lǐ)
磷酸(H₃PO₄) 的(dí)質(zhì)量分(fēn)數ω₁按(àn)公式(1)計算：

式中(zhōng)：
ω₁——磷(lín)酸(H₃PO₄)的質量(liáng)分數(shù)，％；
c ——NaOH標(biāo)準滴定(dìng)溶(róng)液(yè)的(dí)濃度(dù)，單位為摩爾每(měi)升(mol/L)；
V ——消耗的*標準滴定溶液(yè)的(dí)體積，單位為毫(háo)升(shēng)(mL)；
m ——試樣的(dí)質(zhì)量，單(dān)位為克(kè)(g)；
M ——磷酸的摩(mó)爾質(zhì)量的1/2，單(dān)位為(wéi)克(kè)每摩爾(ěr)(g/mol)，[M(1/2 H₃PO₄)=49.00]。
取平行(háng)測(cè)定結果(guǒ)的算(suàn)術平均值(zhí)為(wéi)測(cè)定結(jié)果(guǒ)，兩次平行(háng)測(cè)定結果(guǒ)的差(chà)值(zhí)不大(dà)於0.2%。
其他說明
根(gēn)據企業測量設備的(dí)配置情況(kuàng)，可使(shǐ)用自動電(diàn)位(wèi)滴定儀替(tì)代手動滴(dī)定(dìng)進(jìn)行(háng)磷酸(suān)含量檢測(cè)。

密度儀(yí)法(fǎ)
原理
本方法運用(yòng)U形(xíng)管(guǎn)振蕩法測量液(yè)體(tǐ)密(mì)度的(dí)原理，主(zhǔ)要是使(shǐ)用帶有(yǒu)參(cān)比測量(liáng)池的U形管(guǎn)測(cè)量(liáng)係(xì)統，在(zài)經過(guò)大氣(qì)壓(yā)和(hé)濕(shī)度修正(zhèng)後儀器(qì)內置的空氣，水標準曲(qū)綫，通過輸出高精度(dù)密度(dù)值找(zhǎo)到其對應的磷酸濃度並在密(mì)度儀中顯示(shì)。
儀(yí)器(qì)，試劑
密(mì)度(dù)儀法所用儀(yí)器(qì)如(rú)下。
a) 密度儀(yí)：內置樣(yàng)品溫(wēn)度調節(jié)模塊。儀器應滿足以下要求(qiú)。
——密度(dù)準(zhǔn)確(què)度(dù)：0.00001g/cm³。
——密(mì)度(dù)測(cè)量重(zhòng)復性：0.000005g/cm³。
——溫度測(cè)量(liáng)準確(què)度：0.01°C。
——大氣(qì)壓測(cè)量分辨率：0.1hPa，精度±1.5%，濕度測(cè)量(liáng)分辨(biàn)率(shuài)：1％。
——測量樣品粘(nián)度(dù)並自(zì)動(dòng)進行密(mì)度結(jié)果的(dí)粘(nián)度補(bǔ)償。
——具有(yǒu)測量池(chí)氣(qì)泡自動檢查(chá)功能。
b) 無水乙醇(chún)(作(zuò)為(wéi)儀器的(dí)清(qīng)洗劑(jì))。
c) 純(chún)水(shuǐ)(作為儀器的清洗(xǐ)劑(jì)和儀(yí)器查核(hé)液)：符(fú)合 GB/T 11446.1 規定的(dí)EW-Ⅰ級(jí)電(diàn)子(zǐ)級水。
分(fēn)析(xī)步驟
儀(yí)器查(chá)核
儀器查核(hé)應(yīng)每天(tiān)進(jìn)行一次(cì)， 查(chá)核步驟如(rú)下：將進(jìn)樣管放入查核(hé)液(yè)(純水(shuǐ))中(zhōng)，點(diǎn)擊(jī)開(kāi)始按鈕，儀(yí)器(qì)自動(dòng)吸樣，測(cè)量(注意U形管內(nèi)不(bù)能有任何氣(qì)泡(pào))，測量(liáng)完成後(hòu)顯(xiǎn)示查核液(yè)的溫(wēn)度，密度等(děng)信(xìn)息。
將(jiāng)純水(shuǐ)測量的(dí)密(mì)度(dù)結果(guǒ)與(yǔ)該(gāi)溫度(dù)下查(chá)核液的標(biāo)準(zhǔn)值(見(jiàn)表2)比較，如果偏差在(zài)±0.00005g/cm³以內(nèi)，則(zé)檢查(chá)通(tōng)過，可(kě)進行樣(yàng)品(pǐn)測(cè)試。

樣(yàng)品測(cè)試(shì)
取待測樣品至少(shǎo)50mL於100mL燒杯(bēi)中，將進樣管放(fàng)入待測樣品液(yè)麵(miàn)以(yǐ)下至少1cm處(chǔ)，點擊(jī)開(kāi)始，儀器自動吸(xī)樣，測量(liáng)(注意(yì)U形(xíng)管內不(bù)能(néng)有任(rèn)何氣泡(pào))，測(cè)試完成後(hòu)顯示(shì)待測試(shì)樣的溫(wēn)度，密度，濃(nóng)度等(děng)信(xìn)息(xī)。測試完成(chéng)後(hòu)用(yòng)純(chún)水(shuǐ)進行(háng)清洗(xǐ)，再(zài)用無(wú)水乙醇進(jìn)行清(qīng)洗(xǐ)，清(qīng)洗完(wán)成(chéng)後(hòu)進行(háng)幹(gān)燥(zào)。
樣(yàng)品的濃(nóng)度(dù)直接(jiē)讀(dú)取(qǔ)儀(yí)器顯示(shì)值。