T/ICMtia 5.2-2020 集成電路(lù)用ArF浸沒式(shì)光(guāng)刻膠(jiāo)

範圍
本(běn)文(wén)件規定(dìng)了ArF浸(jìn)沒(méi)式光刻膠的(dí)要(yào)求，試驗(yàn)方法，檢測(cè)標準(zhǔn)及(jí)包(bāo)裝，運(yùn)輸，存儲(chǔ)。
本文件適用於(yú)集(jí)成電路用ArF浸(jìn)沒式光(guāng)刻(kè)膠(jiāo)。

術(shù)語和(hé)定義(yì)
ArF: Argon Fluoride 氟(fú)化(huà)氬(yà)
PFA: Perfluoroalkoxy alkane 全氟烷(wán)氧(yǎng)基(jī)樹脂
NMP: N-甲基吡咯烷(wán)酮
PGMEA: 丙(bǐng)二(èr)醇甲醚(mí)醋(cù)酸酯(zhǐ)
浸出(chū)速率(shuài): Leaching test

技術(shù)要求
性狀(zhuàng)
無(wú)色(sè)至(zhì)淡微(wēi)黃色透(tòu)明液體。


試(shì)驗方(fāng)法(fǎ)
水分
卡爾(ěr)·費(fèi)休(xiū)庫侖(lún)法
按 GB/T 6324.8 的規(guī)定(dìng)測(cè)定(dìng)。
GB/T 6324.8-2014 有(yǒu)機化(huà)工(gōng)產品試驗方(fāng)法(fǎ) 第(dì)8部分: 液體產(chǎn)品水(shuǐ)分測(cè)定 卡(qiǎ)爾·費休庫(kù)侖(lún)電量(liáng)法
卡爾·費(fèi)休容(róng)量(liáng)法
按 GB/T 606 的規(guī)定測(cè)定(dìng)。
GB/T 606-2003 化學試劑(jì) 水分(fēn)測定(dìng)通用方法 卡爾(ěr)·費休(xiū)法(fǎ)
測(cè)試方法(fǎ)的選(xuǎn)擇
當(dāng)樣品中含水(shuǐ)量(liáng)較高(gāo)時，推(tuī)薦使用卡爾·費休容量(liáng)法；含(hán)水量(liáng)較(jiào)小時(1000ppm以下)，使(shǐ)用卡爾(ěr)·費休庫侖(lún)法能得到(dào)更準(zhǔn)確(què)的結果。