DB34/T 4099-2022 平板顯(xiǎn)示用剝(bāo)離液(yè)精餾法再生利用(yòng)技(jì)術要(yào)求

範圍(wéi)
本文件(jiàn)規(guī)定了平(píng)板顯示(shì)用剝離(lí)液精餾法再生利(lì)用技術(shù)的原(yuán)料，技(jì)術要(yào)求(qiú)，汙染控(kòng)製(zhì)要(yào)求和(hé)安全要(yào)求。
本(běn)文件(jiàn)適(shì)用(yòng)於平板(bǎn)顯示用(yòng)溶劑係剝離液(yè)精餾法再(zài)生利用。

術語和(hé)定(dìng)義
下(xià)列術(shù)語和(hé)定義(yì)適(shì)用(yòng)於本文件。
剝離  stripping
使(shǐ)用溶液來(lái)剝(bāo)除玻璃(lí)基板上光(guāng)刻(kè)膠(jiāo)的(dí)工(gōng)藝(yì)過(guò)程(chéng)。
剝離液  stripper
用(yòng)於剝離玻璃基(jī)板上(shàng)光刻膠(jiāo)的溶液。
剝(bāo)離(lí)液(yè)廢液(yè)  waste stripping
剝(bāo)離(lí)液使(shǐ)用(yòng)至無法滿(mǎn)足(zú)剝離(lí)要求(qiú)時(shí)的廢棄溶(róng)液(yè)。主(zhǔ)要含有(yǒu)機(jī)溶劑，少(shǎo)量的(dí)光(guāng)刻膠，水(shuǐ)，金屬(shǔ)離子(zǐ)雜質(zhì)等。
再(zài)生利(lì)用(yòng)  recycling
通過對廢液進行處(chǔ)理，將其中有(yǒu)價(jià)值(zhí)的物(wù)料集(jí)中回(huí)收(shōu)後，成(chéng)為(wéi)可(kě)再(zài)利用(yòng)的(dí)物料(liào)的過(guò)程，不包括對(duì)能量(liáng)的回(huí)收(shōu)和利用(yòng)。

原料
剝離液廢液。

技術(shù)要求
基本要求(qiú)
平板(bǎn)顯(xiǎn)示(shì)用(yòng)剝(bāo)離液精餾法再生利(lì)用相關(guān)的總(zǒng)平布(bù)置應(yīng)滿足(zú) GB 50160，化工(gōng)容器(qì)設備應按(àn)照 HG/T 20580 相(xiāng)關規定設計，設(shè)備(bèi)與管道(dào)係(xì)統(tǒng)涉(shè)及溫度(dù)和壓(yā)力(lì)應按照(zhào) HG/T 20570.1，HG/T 20570.2，HG/T 20570.5，HG/T 20570.6，HG/T 20570.8 相關規定(dìng)設(shè)計，管道儀表流程圖應按照 HG/T 20559.1，HG/T 20559.2，HG/T 20559.3，HG/T 20559.4，HG/T 20559.5，HG/T 20559.6，HG/T 20559.7 對乙(yǐ)類(lèi)可燃(rán)液(yè)體(tǐ)的(dí)相關(guān)規定(dìng)設(shè)計。
平板顯示用剝離液(yè)精(jīng)餾(liù)法再(zài)生利用(yòng)過程中(zhōng)廢(fèi)物收集，貯(zhù)存，包(bāo)裝(zhuāng)，運輸應滿(mǎn)足 HJ 2025 的規定(dìng)。
平板(bǎn)顯(xiǎn)示(shì)用(yòng)剝(bāo)離液精餾(liù)法(fǎ)再生利(lì)用過程(chéng)中(zhōng)危險廢物的貯(zhù)存(cún)容器，貯存設(shè)施(shī)的選(xuǎn)址與設(shè)計原(yuán)則，貯(zhù)存設施的(dí)運行和管理(lǐ)，安(ān)全(quán)防護(hù)與檢測等應滿足(zú) GB 18597 的(dí)規定。
精(jīng)餾(liù)法再(zài)生技術(shù)對有效組(zǔ)分(fēn)的(dí)回收(shōu)得率應(yīng)不(bù)小(xiǎo)於90％，殘液的排放數(shù)量應(yīng)小於4倍(bèi)光(guāng)刻膠的含量(liáng)。
應(yīng)控製(zhì)係統(tǒng)運(yùn)行溫度在(zài)設定(dìng)溫度的±3°C內(nèi)，壓力(lì)在(zài)設(shè)定壓(yā)力的±5 mmHg 內。
整個(gè)係(xì)統(tǒng)配(pèi)備氮(dàn)氣保(bǎo)護係(xì)統。
保證係統真(zhēn)空(kōng)度，溫(wēn)度(dù)滿足(zú)精餾(liù)要求，冷卻水應宜(yí)采用7°C低溫(wēn)水(shuǐ)冷(lěng)。
工藝流程
再生工(gōng)藝(yì)流程如(rú)下(xià)圖(tú)1所(suǒ)示。


工藝(yì)流(liú)程技術要(yào)求(qiú)
過(guò)濾
剝離液廢液(yè)經不小(xiǎo)於(yú)50目的(dí)過濾(lǜ)器過(guò)濾，濾出的固(gù)體(tǐ)雜質作(zuò)為危廢交由有資(zī)質單(dān)位處理。
蒸發
經(jīng)過過濾的剝離(lí)液(yè)廢液進入蒸發(fā)器(qì)蒸發(fā)，蒸發的氣(qì)相再(zài)進入一級精餾塔(tǎ)。宜(yí)采(cǎi)用列管式(shì)蒸發器(qì)，應保持蒸發(fā)器液(yè)位(wèi)不(bù)低於2/5到1/2液(yè)位高度。蒸發器定期排(pái)放殘液數量(liáng)應不大於廢(fèi)液中光刻(kè)膠含(hán)量(liáng)的(dí)3倍。
殘液符(fú)合條件(jiàn)可繼(jì)續(xù)進(jìn)入殘液(yè)蒸(zhēng)發器蒸發(fā)，進一步提高得率。否則作(zuò)為固廢交由(yóu)有危廢(fèi)處理(lǐ)資質單(dān)位處理。
一級(jí)精餾
蒸發後的氣相(xiāng)進入(rù)一(yī)級精餾(liù)塔(tǎ)，精(jīng)餾塔高位槽至2/5到1/2液位(wèi)時，打開回流，在此過程(chéng)中一(yī)級精餾塔(tǎ)液位逐漸(jiàn)升(shēng)高，逐(zhú)步加(jiā)大一級(jí)精餾塔再(zài)沸(fèi)器供熱(rè)量，在塔釜(fǔ)液位升高(gāo)至2/3到4/5時(shí)，將(jiāng)塔(tǎ)釜(fǔ)液打(dǎ)至(zhì)二級精餾塔(tǎ)。控製精(jīng)餾塔溫(wēn)度(dù)，壓(yā)力等(děng)工藝參數，進(jìn)行減壓精(jīng)餾(liù)，脫(tuō)除廢液(yè)中的輕(qīng)組分(水，低(dī)沸點雜質)雜質(zhì)，經冷凝(níng)收(shōu)集入高位槽，進入高(gāo)位(wèi)槽(cáo)的溶(róng)液(yè)後(hòu)作(zuò)為廢水處(chǔ)理(lǐ)。一(yī)級(jí)精餾的溫度(dù)，壓(yā)力，回(huí)流比(bǐ)區間(jiān)宜為(wéi)：50°C～160°C；100mmHg～140mmHg；(1～3)：1。
二級精(jīng)餾
經泵輸(shū)送至二(èr)級精(jīng)餾塔(tǎ)的(dí)塔釜液，精餾(liù)塔(tǎ)塔釜(fǔ)至2/5到(dào)1/2液(yè)位時，逐(zhú)步(bù)加大(dà)二(èr)級精(jīng)餾(liù)塔再(zài)沸(fèi)器(qì)供熱量(liáng)，當精餾塔高位(wèi)槽至2/5到1/2液位時，打(dǎ)開回(huí)流，全(quán)回(huí)流1h，係統穩定運行1小時(shí)後，打開出料，控製(zhì)進(jìn)料(liào)和采(cǎi)出(chū)平衡，精(jīng)餾(liù)過程中嚴(yán)格控製(zhì)溫度(dù)，壓(yā)力，回流比等(děng)工藝參數，經(jīng)精(jīng)餾脫(tuō)除金屬(shǔ)離(lí)子(zǐ)雜質，極少量的光(guāng)刻膠和有(yǒu)機(jī)物重組(zǔ)分雜質(zhì)後(hòu)，經(jīng)冷(lěng)凝收(shōu)集得(dé)到冷凝液。冷(lěng)凝(níng)液(yè)待分析(xī)。二(èr)級(jí)精餾(liù)塔(tǎ)塔釜物料(liào)根(gēn)據(jù)溫(wēn)度應定期排(pái)放殘液(yè)。二級(jí)精餾的(dí)溫(wēn)度(dù)，壓力(lì)，回流(liú)比區間宜(yí)為：120°C～170°C，55mmHg～160mmHg，回(huí)流比(2～5)：1。
殘(cán)液(yè)蒸發(fā)
蒸發(fā)和二級精(jīng)餾塔(tǎ)塔(tǎ)釜(fǔ)排出的殘(cán)液(yè)(主要(yào)組成為：光(guāng)刻膠(jiāo)，有機組(zǔ)分，金屬(shǔ)離子(zǐ)以(yǐ)及水(shuǐ)等)，經檢驗(yàn)，殘(cán)液中的有機組(zǔ)分(fēn)≥50％時(shí)，則(zé)可(kě)進入殘(cán)液蒸發器(qì)繼續回收有機組分，如未(wèi)達(dá)到(dào)要求，則(zé)作(zuò)為(wéi)固廢交(jiāo)由(yóu)有(yǒu)危(wēi)廢處(chǔ)理資質單位處理(lǐ)。殘(cán)液(yè)蒸發冷凝液(yè)作為原料進(jìn)入剝離液廢液(yè)儲罐，待(dài)下(xià)次(cì)生產(chǎn)。殘(cán)液(yè)蒸發(fā)溫(wēn)度(dù)壓(yā)力範圍(wéi)宜(yí)為：160°C～200°C，80mmHg～100mmHg。
分析
按 GB/T 3143，GB/T 6283，GB/T 9722，SJ/T 11637 對(duì)二(èr)級精餾塔(tǎ)塔頂(dǐng)冷(lěng)凝液(yè)的色(sè)度(dù)，水分(fēn)，有(yǒu)機組分(fēn)含量，金屬(shǔ)離子(zǐ)含量(liáng)進行分析。分析結果符(fú)合(hé)：色度應(yīng)不大於20度，水(shuǐ)分含(hán)量應不(bù)大(dà)於(yú)0.10％，有效有機(jī)組分含量應(yīng)不(bù)小(xiǎo)於(yú)99.00％；金屬Li，Na，Mg等(děng)應(yīng)不大(dà)於(yú)40ug/L，則為電(diàn)子級(jí)再生(shēng)剝離液，泵入電子級(jí)再(zài)生(shēng)剝離液儲罐。
GB/T 6283-2008 化工(gōng)產品中(zhōng)水(shuǐ)分(fēn)含量(liáng)的(dí)測(cè)定 卡(qiǎ)爾·費休法(通(tōng)用方法)