T/ICMtia PC007-2021 集(jí)成(chéng)電(diàn)路(lù)用氫氟酸(suān)

範圍(wéi)
本(běn)文(wén)件規定了集成電(diàn)路(lù)用氫(qīng)氟(fú)酸的(dí)技術要(yào)求，試驗方(fāng)法，檢驗規(guī)則(zé)，標(biāo)誌，包裝，運(yùn)輸，貯(zhù)存(cún)。
本文件適用(yòng)於(yú)集成電(diàn)路(lù)製造過程中使用(yòng)的氫氟(fú)酸。
分(fēn)子式
：HF
相(xiāng)對(duì)分(fēn)子質量(liáng)
：20.01(按2014年(nián)國際相對(duì)原(yuán)子(zǐ)質(zhì)量(liáng))。

要求
性(xìng)狀
無(wú)色透明溶液，有(yǒu)揮發(fā)性(xìng)，有(yǒu)刺激性氣(qì)味(wèi)。
規格
集成(chéng)電(diàn)路用氫氟酸(suān)的規(guī)格分為
：IC-1級(jí)，IC-2級和(hé)IC-3級(jí)。
技(jì)術要求(qiú)
集成電(diàn)路(lù)用氫氟酸(suān)的技(jì)術(shù)要求見表1。



注
：1，可根據客戶需求(qiú)定製特(tè)殊規格(gé)產(chǎn)品(pǐn)；2，1μg/L=1ppb=1000ppt，1mg/kg=1ppm。

試驗(yàn)方(fāng)法
含量的測定
試劑(jì)和(hé)材(cái)料(liào)
——*溶(róng)液，1.00mol/L；
——帶蓋PE燒杯。
儀器
自(zì)動滴定儀(yí)。
樣品(pǐn)製(zhì)備(bèi)
用移液(yè)槍或吸量(liáng)管(guǎn)移取約0.5g(精(jīng)確至(zhì)0.0001g)的樣品(pǐn)至(zhì)預先裝有60g左(zuǒ)右水的帶蓋的PE燒杯中。
測定
按照自動滴(dī)定儀操(cāo)作規程打(dǎ)開儀(yí)器，待機器(qì)處於(yú)穩(wěn)定狀態(tài)時，在(zài)自動滴定電(diàn)腦(nǎo)界麵(miàn)上(shàng)登(dēng)入，選擇方法及樣(yàng)品(pǐn)質量(liáng)等信息後點擊“開始"即(jí)可(kě)。分析結束後(hòu)記錄數(shù)據。
取平(píng)行測定(dìng)結(jié)果的(dí)算(suàn)術平均(jūn)值為(wéi)測定結果(guǒ)，兩(liǎng)次平(píng)行(háng)測定結(jié)果(guǒ)的絕(jué)對(duì)差(chà)值(zhí)不(bù)大於0.05%。