T/CEMIA 036-2023 半導體(tǐ)顯示用(yòng)高鹼(jiǎn)濃(nóng)度負(fù)膠(jiāo)顯影(yǐng)液

範圍(wéi)本文(wén)件(jiàn)規定(dìng)了(liǎo)半導(dǎo)體顯(xiǎn)示用(yòng)高(gāo)鹼濃度負膠顯影液(yè)的縮略語，技術(shù)要求(qiú)，檢驗(yàn)方法，檢(jiǎn)驗(yàn)規則，標誌及包裝(zhuāng)，運(yùn)輸(shū)，貯(zhù)存和安全事項。
本文件適用於由(yóu)氫氧化(huà)鉀(jiǎ)，表(biǎo)麵活性(xìng)劑和水組成(chéng)
，其(qí)中氫(qīng)氧化鉀的(dí)質量百分(fēn)比大(dà)於8％的半(bàn)導體顯示(shì)用高鹼濃(nóng)度負膠(jiāo)顯(xiǎn)影液。此(cǐ)半導體(tǐ)顯(xiǎn)示(shì)用(yòng)高(gāo)鹼(jiǎn)濃度負膠顯(xiǎn)影(yǐng)液主要(yào)用於(yú)半(bàn)導(dǎo)體(tǐ)製程(chéng)中負性光(guāng)刻膠的(dí)顯(xiǎn)影
，及(jí)薄膜品體管液品顯(xiǎn)示器(qì)(TFT-LCD)或有機發光二極(jí)管(guǎn)顯(xiǎn)示(shì)器(OLED)彩膜(mó)工藝(yì)光刻膠的顯影。

術(shù)語和(hé)定義(yì)
本(běn)文(wén)件沒(méi)有需要界定(dìng)的術語(yǔ)和定(dìng)義。

縮略語(yǔ)
下列(liè)縮略語適(shì)用(yòng)於本文件。
HDPE
：High Density Polyethylene
，高(gāo)密度(dù)聚(jù)乙烯(xī)。

技(jì)術要求(qiú)
外觀(guān)
透明澄(chéng)清液體。
色度(dù)
半(bàn)導(dǎo)體顯(xiǎn)示(shì)用高鹼(jiǎn)濃度負膠顯影液的色度(dù)不(bù)大於50Hazen單位(wèi)(鉑-鈷色(sè)號)。
主(zhǔ)要成分(fēn)
半(bàn)導(dǎo)體顯示用(yòng)高(gāo)鹼濃(nóng)度負(fù)膠(jiāo)顯影(yǐng)液的主要化學(xué)成(chéng)分(fēn)含(hán)量應符(fú)合(hé)表1的規(guī)定。


理化性(xìng)能
半導(dǎo)體(tǐ)顯示(shì)用(yòng)高鹼濃度負膠顯(xiǎn)影液的(dí)理化(huà)性(xìng)能
，應符合(hé)表2的要(yào)求(qiú)。


檢驗(yàn)方(fāng)法(fǎ)
氫氧化鉀含(hán)量
按 GB/T 9725 的(dí)規定進行(háng)測試。
GB/T 9725-2007 化學(xué)試劑 電位(wèi)滴(dī)定(dìng)法通則

密度(dù)
按(àn) GB/T 611-2021 的(dí)規(guī)定進行測試(shì)。
GB/T 611-2021 化學試劑 密(mì)度測定通(tōng)用方(fāng)法(fǎ)