T/ICMtia 5.1-2020 集成電(diàn)路用ArF幹式(shì)光(guāng)刻(kè)膠(jiāo)

範圍
本文(wén)件(jiàn)規(guī)定了ArF幹式光刻膠(jiāo)的要求(qiú)，試(shì)驗方法，檢測標準及(jí)包(bāo)裝，運輸(shū)，存(cún)儲要求。
本(běn)文件(jiàn)適用於集成電(diàn)路(lù)用ArF幹式光(guāng)刻(kè)膠。

術(shù)語(yǔ)和(hé)定(dìng)義
ArF: Argon Fluoride 氟化氬
PFA: Perfluoroalkoxy alkane 全(quán)氟烷(wán)氧基樹脂
NMP: N-甲(jiǎ)基(jī)吡(pǐ)咯(kǎ)烷酮
PGMEA: 丙(bǐng)二(èr)醇甲(jiǎ)醚醋酸酯

技術要求
性狀(zhuàng)
無色至(zhì)淡微(wēi)黃(huáng)色(sè)透(tòu)明液體(tǐ)。
技術規(guī)格及(jí)指標


測試(shì)方法
水分
卡爾·費休(xiū)庫(kù)侖法
按 GB/T 6324.8 的規定測定。
GB/T 6324.8-2014 有機化工產品試(shì)驗方(fāng)法 第(dì)8部分: 液體產品(pǐn)水分測(cè)定 卡(qiǎ)爾(ěr)·費休(xiū)庫侖(lún)電(diàn)量(liáng)法
卡爾(ěr)·費休容(róng)量(liáng)法
按 GB/T 606 的規(guī)定測(cè)定。
GB/T 606-2003 化學試劑 水分(fēn)測定(dìng)通(tōng)用(yòng)方法(fǎ) 卡爾·費(fèi)休(xiū)法(fǎ)
測(cè)試方(fāng)法(fǎ)的(dí)選擇
當樣品中含(hán)水量較(jiào)高時，推薦使用(yòng)卡(qiǎ)爾·費休容量(liáng)法；含水量較(jiào)小時(shí)(1000ppm以下)，使(shǐ)用(yòng)卡爾·費休庫(kù)侖法能(néng)得(dé)到(dào)更準(zhǔn)確(què)的結(jié)果。