GB/T 28159-2025 電子級磷酸

範(fàn)圍
本(běn)文件規(guī)定了電子(zǐ)級(jí)磷酸(suān)的要求(qiú)，檢驗規(guī)則以及(jí)標誌，包裝，運輸(shū)，貯存(cún)，安全等(děng)，並(bìng)描述(shù)了相(xiāng)應的試(shì)驗方(fāng)法(fǎ)。
本文(wén)件適用(yòng)於半導體集成電(diàn)路，芯(xīn)片(piàn)，顯示麵板(bǎn)等行(háng)業用的電(diàn)子級磷(lín)酸(suān)。

術語和定義
本(běn)文(wén)件沒(méi)有需要界定(dìng)的術語(yǔ)和(hé)定(dìng)義(yì)。

要求(qiú)
外(wài)觀
電(diàn)子級磷酸(suān)應為(wéi)無色(sè)透明液體。
規(guī)格
電(diàn)子(zǐ)級(jí)磷(lín)酸分為E1級，E2級，E3級(jí)共(gòng)3個等(děng)級，其中E1級主要用於顯示麵板行(háng)業，E2級主要用(yòng)於(yú)8寸(cùn)集成電路(lù)行(háng)業，E3級(jí)主要用(yòng)於(yú)12寸集成(chéng)電路行業。
技術(shù)要求(qiú)
電(diàn)子級(jí)磷酸的技(jì)術(shù)要(yào)求(qiú)應(yīng)符合(hé)表(biǎo)1的(dí)規定。




試(shì)驗方(fāng)法
磷(lín)酸質(zhì)量分(fēn)數的(dí)測定
重(zhòng)量法(仲(zhòng)裁(cái)法(fǎ))
按 GB 1886.15-2015 中(zhōng)A.4.1規定的方(fāng)法進行(háng)。

容量法
原(yuán)理(lǐ)
以百(bǎi)裏(lǐ)香(xiāng)酚猷為指示(shì)液，用(yòng)NaOH標(biāo)準滴(dī)定溶(róng)液滴定(dìng)磷酸，以確(què)定磷酸(suān)含量。
試劑(jì)
NaOH標(biāo)準(zhǔn)滴定溶(róng)液：c(NaOH)=0.5mol/L。
百裏香(xiāng)酚酞(tài)指示液：1g/L。
分析(xī)步驟(zhòu)
稱取(qǔ)約1g試(shì)樣(yàng)，精(jīng)確(què)至(zhì)0.0002g 。置於250mL錐形瓶(píng)中，加(jiā)80mL水(shuǐ)和5滴百(bǎi)裏香(xiāng)酚(fēn)酞指示(shì)液，用(yòng)NaOH標(biāo)準滴定溶(róng)液滴定至溶液(yè)變(biàn)為(wéi)淺藍(lán)色即為(wéi)終(zhōng)點(diǎn)。
試(shì)驗(yàn)數據的(dí)處(chǔ)理
磷酸(H₃PO₄)的(dí)質量分數ω₁按(àn)公式(shì)(1)計(jì)算：

式中：
ω₁——磷(lín)酸(suān)(H₃PO₄)的質量(liáng)分數，％；
c ——NaOH標準(zhǔn)滴定(dìng)溶液的濃度，單位為摩爾每升(mol/L)；
V ——消(xiāo)耗的NOH標準滴定(dìng)溶液的體積，單(dān)位為毫(háo)升(shēng)(mL)；
m ——試樣(yàng)的(dí)質量(liáng)，單位為克(g)；
M ——磷(lín)酸(suān)的(dí)摩(mó)爾(ěr)質量的1/2 ，單(dān)位(wèi)為(wéi)克每摩(mó)爾(ěr)(g/mol)，[M(1/2 H₃PO₄)=49.00]。
取平行(háng)測定結果的算(suàn)術平均值為(wéi)測(cè)定結果(guǒ)，兩次平(píng)行(háng)測(cè)定(dìng)結果的(dí)絕(jué)對(duì)差(chà)值不大於0.2%。
其(qí)他(tā)說明
根(gēn)據企(qǐ)業測(cè)量(liáng)設備的配(pèi)置情況(kuàng)，可使用(yòng)自動電(diàn)位滴定儀替(tì)代(dài)手動(dòng)滴(dī)定進(jìn)行(háng)磷(lín)酸含量檢測(cè)。

密度儀法
原(yuán)理(lǐ)
本(běn)方(fāng)法運用U形(xíng)管振(zhèn)蕩(dàng)法測(cè)量液(yè)體密(mì)度的原(yuán)理，主要是使用(yòng)帶(dài)有參(cān)比測(cè)量池(chí)的U形(xíng)管(guǎn)測(cè)量(liáng)係統，在經過大氣(qì)壓(yā)和(hé)濕度修正後(hòu)儀(yí)器(qì)內置(zhì)的(dí)空(kōng)氣，水(shuǐ)標準(zhǔn)曲綫，通過輸(shū)出(chū)高精度密(mì)度值找(zhǎo)到其對應的磷(lín)酸(suān)濃度(dù)並(bìng)在(zài)密(mì)度儀中顯示。
儀器，試劑
密(mì)度(dù)儀(yí)法所用儀器(qì)如下。
a) 密(mì)度儀：內置(zhì)樣品(pǐn)溫(wēn)度調節模塊。儀器(qì)應(yīng)滿足以下(xià)要求(qiú)。
——密(mì)度(dù)準(zhǔn)確(què)度：0.00001g/cm³。
——密度測量(liáng)重復性：0.000005g/cm³。
——溫度測量準確度：0.01°C。
大(dà)氣(qì)壓(yā)測量(liáng)分辨率：0.1hPa，精度(dù)±1.5%，濕度(dù)測(cè)量(liáng)分辨率：1％。
——測量樣(yàng)品粘(nián)度並(bìng)自動(dòng)進(jìn)行(háng)密(mì)度結果(guǒ)的粘度(dù)補償。
——具(jù)有(yǒu)測(cè)量池(chí)氣泡(pào)自動檢(jiǎn)查(chá)功(gōng)能(néng)。
b) 無水乙醇(chún)(作(zuò)為儀(yí)器的(dí)清洗(xǐ)劑(jì))。
c) 純水(作為儀(yí)器的清洗(xǐ)劑和儀(yí)器查(chá)核(hé)液)：符合 GB/ T 11446.1 規(guī)定的(dí)EW-Ⅰ級(jí)電(diàn)子(zǐ)級(jí)水。
分析步(bù)驟(zhòu)
儀器(qì)查核(hé)
儀器(qì)查核應每天(tiān)進行一次， 查核步(bù)驟(zhòu)如下：將進(jìn)樣(yàng)管放(fàng)入(rù)查核液(純(chún)水)中，點(diǎn)擊開(kāi)始(shǐ)按(àn)鈕(niǔ)，儀器自(zì)動吸樣(yàng)，測量(liáng)(注意U形(xíng)管內不(bù)能有(yǒu)任何氣(qì)泡)，測量(liáng)完成(chéng)後顯(xiǎn)示查核(hé)液的溫度，密(mì)度(dù)等(děng)信息(xī)。
將(jiāng)純水測量的密度結(jié)果(guǒ)與該(gāi)溫度下查核(hé)液(yè)的(dí)標準值(見表2)比(bǐ)較，如(rú)果(guǒ)偏差在(zài)±0.00005g/cm³以(yǐ)內(nèi)，則檢查(chá)通過(guò)，可進行樣(yàng)品(pǐn)測(cè)試。

樣品測(cè)試(shì)
取待測樣(yàng)品至(zhì)少50mL於(yú)100mL燒(shāo)杯中(zhōng)，將進樣管放入待(dài)測樣品(pǐn)液麵(miàn)以下至少1cm處(chǔ)，點擊開(kāi)始，儀器(qì)自動吸樣，測(cè)量(注意U形(xíng)管內(nèi)不能(néng)有任(rèn)何氣泡)，測(cè)試完成後(hòu)顯示待(dài)測(cè)試(shì)樣的溫度(dù)，密度(dù)，濃(nóng)度等(děng)信(xìn)息(xī)。測(cè)試(shì)完成(chéng)後(hòu)用純水(shuǐ)進(jìn)行清洗，再(zài)用無(wú)水乙醇進(jìn)行(háng)清洗(xǐ)，清洗完(wán)成(chéng)後(hòu)進(jìn)行(háng)幹(gān)燥。
樣品的濃(nóng)度直(zhí)接(jiē)讀取儀(yí)器顯示值(zhí)。